高純氣體是指經(jīng)過精密凈化處理，純度達到特定標準的氣體。高純氣體在現(xiàn)代工業(yè)和科學(xué)研究中有著廣泛的應(yīng)用，其作用主要有以下幾個方面：
作為氣相沉積的反應(yīng)氣體：高純氣體可以作為氣相沉積的反應(yīng)氣體，用于制備各種薄膜、涂層等材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、顯示器等領(lǐng)域。
作為氣體檢測的標準氣體：高純氣體可以作為氣體檢測的標準氣體，用于校準氣體檢測儀器，確保氣體檢測的準確性。
作為清潔氣體：高純氣體可以作為清潔氣體，用于清洗和凈化各種設(shè)備和工藝過程，提高設(shè)備和工藝過程的穩(wěn)定性和可靠性。
作為實驗室氣體：高純氣體可以作為實驗室氣體，用于各種實驗和研究，如氣相色譜、質(zhì)譜、光譜等。
總之，高純氣體在現(xiàn)代工業(yè)和科學(xué)研究中有著廣泛的應(yīng)用，其作用主要是作為氣相沉積的反應(yīng)氣體、氣體檢測的標準氣體、清潔氣體和實驗室氣體等。
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