應用
高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應用。還可用于水質(zhì)處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質(zhì)，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。
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